FOURS INDUSTRIELS ET DISPOSITIF DE PRÉCHAUFFAGE
Les armoires chauffantes sont utilisés pour un traitement thermique doux et précis des composants dans le domaine de la production des actionneurs de puissance électroniques. Une atmosphère de gaz inerte soutient ce processus.
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Cette armoire chauffante est utilisée pour le traitement thermique des disques pour la fabrication de semi-conducteurs sous atmosphère d'azote et de gaz de formage. L'irradiation électronique et les implantations ioniques provoquent des dommages par rayonnement des disques de semi-conducteur qui peuvent être réparés à l'aide d'un processus de température (250°C à 420°C). Ce processus doit pouvoir être réalisé sous une atmosphère de gaz inerte avec un degré élevé de stabilité de température et de reproductibilité. C'est donc ici l'objectif de cette armoire chauffante.
Cette armoire chauffante est utilisée pour le traitement thermique des disques pour la fabrication de semi-conducteurs sous atmosphère d'azote et de gaz de formage.
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